西格玛光机内置光栅尺X轴自动滑台 (OSCM(GS)/TAMM(GS)-X)

西格玛光机内置光栅尺X轴自动滑台(OSCM(GS)/TAMM(GS)-X)是在在TAMM系列（十字交叉滚柱导轨型铝合金自动滑台）以及X轴超小型5相步进电机自动滑台（OSCM25-10X）的基础上，加装光栅尺实现闭环控制的X轴自动滑台。

OSCM(GS)/TAMM(GS)-X系列根据光栅尺的读数实现位置反馈提高了定位精度，比开环驱动平台的精度更高，定位更可靠。

细节：

·光栅尺输出信号的分辨率为10 nm，方便实现高分辨率的定位。

·利用光栅尺实现反馈控制，方便实现可靠的高精度定位。

·台面尺寸分别为25 mm，40 mm和60 mm，非常适用于小型高精度的定位。

技术参数：

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