HST(GS)-X内置光栅尺自动平台系统是由作为位置基准（刻度）的光栅尺，和解读其刻度获得位置信息的信号处理部组成的自动平台系统。

HST(GS)-X内置光栅尺自动平台系统适用于要求亚微米量级的准确定位，或者存在温度变化时的长时间驱动等场合。

细节：

·配合使用好光栅尺的反馈信号和细分驱动功能，可以极大地减少丝杠导程误差的影响。

·采用了线膨胀系数小的光栅尺，受周围温度环境的影响小，可靠性好，定位精度高。

·光栅尺的理论分辨率为0.05μm。

注意：

·为了保证样本所示的技术指标，能闭环控制HST(GS)系列平台，推荐将细分数设定为大于100(1个脉冲的位移小于0.05μm)的数值。

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