西格玛光机真空用自动旋转滑台，VSGSP-YAW系列是一款真空用的自动旋转滑台，有φ60mm和φ120mm两种规格的标准台面。

西格玛光机真空用自动旋转滑台

φ60mm的小型滑台，适用于实验或检查装置。φ120mm的真空用滑台上配备了限位传感器。厚度小，承载能力大（选用了□42mm的大型电机）。

信息：

>>>在电机部，和极限位置传感器部处，附有1m长的镀有聚四氟乙烯层的电缆，可用于直接连线到真空腔的插头部。

通用指标：

■电机/传感器技术指标

电机类型　　　　　　　VSGSP-60YAW：真空用5相步进电机　0.75A/相(多摩川精机(株))

　　　　　　　　　　　VSGSP-120YAW：真空用5相步进电机　0.75A/相(ORIENTAL MOTOR(株))

电机型号　　　　　　　VSGSP-60YAW：TS3664N5(□24mm)

　　　　　　　　　　　VSGSP-120YAW：PK543V-NB(□42mm)

电机步距角　　　　　　0.72°

传感器输出端电气特性　VSGSP-60YAW：－

　　　　　　　　　　　VSGSP-120YAW：接触式

传感器信号的含义　　　VSGSP-60YAW：－

　　　　　　　　　　　VSGSP-120YAW：常开

■推荐选用的驱动器／控制器型号

驱动器

SG-5M、MC-Z0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL

控制器

GSC-01、GSC-02、SHOT-702、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M·HIT-S、PGC-04-U、HSC-103