西格玛光机NFS系列闭环控制平台是西格玛光机针对高精度定位需求而开发的纳米级自动平台。

NFS系列平台基于5相步进电机驱动，采用闭环控制系统，结合内置的高分辨率光栅尺（分辨率可选10nm或50nm），实现亚微米级定位精度。产品通过CE和UKCA认证，配合专用控制器SHRC-203，确保在复杂环境下的可靠性与重复性。

1. 核心技术特点

高精度闭环控制

通过光栅尺实时反馈位置信息，结合控制器SHRC-203，实现重复定位精度±0.5μm，微小范围双方向重复定位精度达±20nm，满足超精密定位需求。

滚珠丝杠驱动与长行程设计

NFS系列采用滚珠丝杠驱动，支持20mm至300mm的多样化行程，适用于大范围移动场景。导程精度达1-2mm，丝杠直径覆盖φ4mm至φ10mm，兼顾负载能力与运动平稳性。

AutoConfig智能识别功能

自动检测平台分辨率并优化参数配置，简化用户操作流程，提升设备兼容性。

多样化型号与配置

提供8种台面尺寸（75×60mm至330×180mm），支持不同负载需求（5kgf至20kgf），并可选配LM导轨或十字交叉滚柱导轨，适应水平、垂直或倒置安装。

2. 应用领域

光学系统：用于激光加工、光谱分析、干涉测量中的元件定位与调整。

半导体制造：支持晶圆检测、光刻工艺中的高精度对位与微动控制。

科研实验：适用于生物医学显微操作、物理光学实验及精密计量检测。

工业自动化：集成于自动化设备中，执行精密装配、打标或检测任务。

3. 使用环境与注意事项

环境要求：推荐温度23±1℃，湿度30%-80%（非结露），需避免振动、油雾及灰尘污染。

安装规范：安装面平行度需小于0.02mm，防止外力导致平台变形；负载安装需匹配台面尺寸，超限需定制方案。

维护建议：定期补充润滑油脂，长期停用需防锈处理，以延长设计寿命（直线平台约2000-3000小时）。

4. 配套与技术支持

专用控制器SHRC-203：支持LabVIEW等开发环境，提供多轴联动控制与编程接口。

质量保障：采用三坐标测量仪、激光干涉仪等检测设备，确保出厂精度符合ISO标准。

定制服务：支持非标行程、特殊负载及环境适应性设计，满足个性化需求。

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上海芬创信息科技有限公司2004年成立至今，作为专业的光机电产品和技术服务提供商，芬创科技长期致力于将国际上先进的闭环控制平台及研究方法介绍引进到中国；专注为中国的光学电子/微电子/激光应用/生物/医药/物理、光学研究机构/计量检测机构/机械加工用户提供高品质的闭环控制平台和技术服务。