SFS-H***西格玛光机压电纳米位移台

2022-10-25 16:42| 发布者: | 查看: |

SFS-H***西格玛光机压电纳米位移台,是一款采用了独特的数字位移传感器,实现了高精度·高刚性·高速度和理论分辨率达1nm的压电陶瓷自动位移台。

SFS-H西格玛光机压电纳米位移台
SFS-H***西格玛光机压电纳米位移台

SFS-H***西格玛光机压电纳米位移台,目前有6个标准型号:SFS-H40X(CL)、SFS-H40Z(CL)、SFS-H60X(CL)、SFS-H60XY(CL)、SFS-H60Z(CL)、SFS-H60XYZ(CL),其中“数字”表示的是台面尺寸:40*40mm或60*60mm,“X”表示的是水平单轴,“Z”表示的是垂直单轴,“XY”表示的是水平双轴,“XYZ”表示的是水平加垂直三维平台。

SFS-H***西格玛光机压电纳米位移台特征:

●采用了独特的数字位移传感器,可实现高精度·高刚性·高速度的压电陶瓷位移台。

●采用压电陶瓷作为驱动机构,开环控制时的行程为90μm~100μm,理论分辨率达1nm。和开环控制相比,闭环控制时的行程(max)会少20%左右。

●位置检测采用了数字位移传感器(频率→数字变换方式的微小位移传感器),闭环控制时的显示分辨率为10nm。

●使用FINE系列控制器,可实现高速定位。

●重复驱动SFS-H(直动)系列平台,可达10~15Hz的频率。使用FINE-01γ的模拟信号驱动时,可达25Hz。

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上海芬创信息科技有限公司2004年成立至今,作为专业的压电纳米位移台产品和技术服务提供商,芬创科技长期致力于将国际上最先进的纳米位移台技术及研究方法介绍引进到中国;专注为中国的光学电子/微电子/激光应用/生物/医药/物理、光学研究机构/计量检测机构/机械加工用户提供高品质的光学产品和技术服务。

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