倾斜滑台

倾斜滑台是用于光学元件或样品的调整滑台，它具有2个或3个调整自由度。

西格玛光机的倾斜滑台由两块板面构成，由三个点支持上板，其中以一点作为支点进行倾斜调整。

·调整钮型

没有刻度，适合简单的调整的情况。

·微分头型·精密调节螺杆型

可进行精密调节。例如，西格玛光机AIS系列αβ轴倾斜滑台可以提供±2°的倾斜调节范围。

多轴滑台

多轴滑台可实现多个方向的旋转调整，从而对齐光学组件。

例如，西格玛光机TSD系列XYZθ轴TSD直动平台，可以实现4个方向的调整。

X轴在水平方向上的行程为±12.5mm，Z轴在垂直方向上的行程为±10mm，θ轴可以进行旋转方向的调整，粗调范围为360°，微调范围为±5°。

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