在真空环境下实现精密运动控制是许多高端制造和科研领域（如半导体、光学镀膜、太空探测）的关键需求。传统电机在真空中易因摩擦、放气等问题失效，而西格玛光机的真空用超声波驱动装置则提供了一种创新解决方案——它利用超声波振动实现“非接触式驱动”，既避免了机械磨损，又适应了严苛的真空环境。

原理：压电陶瓷的微观“弹跳”

该装置的核心是压电陶瓷材料，当通入高频交流电时，陶瓷会产生微米级的伸缩振动。通过精心设计的振动波形，装置内部的弹性体（如金属振子）会形成定向的行波或驻波，从而推动与之接触的滑块或平台做线性或旋转运动。由于驱动依赖分子间的摩擦力而非齿轮咬合，运动过程几乎无噪音，且分辨率可达纳米级。

真空适配性的秘密

传统润滑剂在真空中会挥发污染环境，而超声波驱动无需润滑，仅靠材料自身的弹性变形工作；同时，西格玛光机采用特殊合金和陶瓷材料，确保部件在真空下的热稳定性和低放气率。例如，其振子表面常镀有硬质涂层，既减少磨损，又避免真空冷焊现象。

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