西格玛光机迈克尔逊干涉仪IFS2-MI-25
西格玛光机迈克尔逊干涉仪IFS2-MI-25是测试样品面精度的，常用的干涉仪之一，利用反射镜的2个垂直光路构造是其大的特点，干涉条纹反映了2个反射镜镜面形状的差异。
迈克尔逊干涉仪组件及原理图
迈克尔逊干涉仪光学组成部件：
| 品名 | 型号 | 数量 | 光轴高度〔mm〕 |
| 激光组件 | IFC2-L | 1 | 171 |
| 空间滤波器组件 | IFC2-SF | 1 | 165 |
| 准直镜组件 | IFC2-CL | 1 | 160 |
| 反射镜组件 | IFC2-M | 2 | 173 |
| 半透半反镜组件 | IFC2-BS | 1 | 178 |
| 屏幕组件 | IFC2-SC | 1 | 222.5 |
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