西格玛光机迈克尔逊干涉仪IFS2-MI-25是测试样品面精度的，常用的干涉仪之一，利用反射镜的2个垂直光路构造是其大的特点，干涉条纹反映了2个反射镜镜面形状的差异。

迈克尔逊干涉仪组件及原理图

迈克尔逊干涉仪光学组成部件：