西格玛光机PVT真空吸附平台

2024-05-31 10:02| 发布者: | 查看: |

PVT真空吸附平台,其表面均布了微米级气孔,依靠真空吸附力来固定工件,特别适用于固定半导体基板、玻璃镜片、薄膜等薄片状工件。

细节:

·主要材料为花岗岩,重量轻,精度高。

·必须配合真空泵(需另购)使用,但吸附力受真空泵的性能影响。

注意:

·本型号产品仅为平台,不包括真空泵和空气开关等。

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