2022-05-26 11:06| 发布者: | 查看: |
无掩模光刻，一般根据CAD数据进行直描加工，根据扫描方法不同，可分为扫描光学系统和聚光光学系统。（也有两者结合的混合型）
扫描光学系统
聚光光学系统
扫描方法
振镜扫描
平台扫描
扫描速度
高速
低速
扫描区域
小
大
聚光方法
fθ透镜
物镜
光斑尺寸
数10μ 〜 数100μ
亚微米 〜 数10μ
焦点深度
扫描系统
聚光系统（附观察系统）
