扫描光学系统和聚光光学系统
无掩模光刻，一般根据CAD数据进行直描加工，根据扫描方法不同，可分为扫描光学系统和聚光光学系统。（也有两者结合的混合型）
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扫描光学系统 |
聚光光学系统 |
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扫描方法 |
振镜扫描 |
平台扫描 |
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扫描速度 |
高速 |
低速 |
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扫描区域 |
小 |
大 |
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聚光方法 |
fθ透镜 |
物镜 |
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光斑尺寸 |
数10μ 〜 数100μ |
亚微米 〜 数10μ |
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焦点深度 |
大 |
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扫描系统
聚光系统（附观察系统）
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