在真空环境下使用西格玛光机不锈钢滑台时，实际测量发现挥发性气体的主要成分为水分和碳氢化合物。

我们推测，这些气体主要来源于附着在平台上的水分以及润滑油脂的挥发。

不同型号的西格玛光机真空用手动滑台在排气40分钟后，其放出气体量如下：

评价装置的技术指标

排气装置：

涡轮分子泵STP-301，由EDWARDS公司制造，排气速度为300 ℓ/sec；

质量分析装置：

四极质谱分析仪QME200，由PFEIFFER社制造，测量范围为1 - 200amu

这些设备用于测量真空腔内的真空度和残留气体成分，从而帮助分析和解释质谱峰的气体成分。

真空腔内的真空度

质量成分比例

质谱峰的解释

利用质谱测定残留气体时，各分子量处出现的峰值到底是怎样的气体，其主要成分的一览表及其解释如下：

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