西格玛光机不锈钢滑台在真空环境中的使用说明

在真空环境下使用西格玛光机不锈钢滑台时，实际测量发现挥发性气体的主要成分为水分和碳氢化合物。

我们推测，这些气体主要来源于附着在平台上的水分以及润滑油脂的挥发。

不同型号的西格玛光机真空用手动滑台在排气40分钟后，其放出气体量如下：

评价装置的技术指标

排气装置：

涡轮分子泵STP-301，由EDWARDS公司制造，排气速度为300 ℓ/sec；

质量分析装置：

四极质谱分析仪QME200，由PFEIFFER社制造，测量范围为1 - 200amu

这些设备用于测量真空腔内的真空度和残留气体成分，从而帮助分析和解释质谱峰的气体成分。

真空腔内的真空度

质量成分比例

质谱峰的解释

利用质谱测定残留气体时，各分子量处出现的峰值到底是怎样的气体，其主要成分的一览表及其解释如下：

上海芬创信息科技有限公司2004年成立至今，作为专业的光机电产品和技术服务提供商，芬创科技长期致力于将国际上先进的真空用手动滑台及研究方法介绍引进到中国；专注为中国的光学电子/微电子/激光应用/生物/医药/物理、光学研究机构/计量检测机构/机械加工用户提供高品质的真空用手动滑台产品和技术服务。