西格玛光机真空用底座详解

2025-01-03 10:15| 发布者: | 查看: |

西格玛光机真空用底座是一种用于真空环境中的底座,西格玛光机提供了多种规格型号的真空用途底座,以适应不同的应用场景和设备需求。

规格型号

常见的有不同尺寸的底座,如小型、中型和大型,以匹配不同尺寸的真空腔和负载要求。其尺寸范围通常从几十毫米到几百毫米不等,例如小型底座的边长可能在 50mm 左右,而大型底座的边长可达 300mm 以上。还有不同材质的底座可供选择,包括铝合金、不锈钢等。铝合金底座具有质量轻、导热性好等优点,适用于对重量和散热有要求的场合;不锈钢底座则具有更高的强度和耐腐蚀性,适用于高真空、强腐蚀等恶劣环境。

结构特点

低出气量设计:在真空环境中,出气量大会影响真空度的稳定性和维持成本等。西格玛光机真空用途底座采用特殊的材料和制造工艺,有效减少了出气量,确保在真空腔内使用时不会因底座自身出气而破坏真空环境。

通气孔或槽加工:其螺纹孔等部位都加工了通气孔或槽,这一设计可以使气体在真空环境下更顺畅地流通,避免因局部气压不均而产生的问题,如影响真空度的快速建立、导致部件之间的吸附或受力不均等。

功能优势

灵活固定立柱支架:搭配真空用固定块(VRC),能够在任意位置固定真空用立柱支架,满足不同实验或生产需求中对支架位置的精确调整和固定,方便在真空腔内搭建各种结构。

节省空间:立柱支架可互相接近,使得在有限的真空腔体内能够更合理地利用空间,布置更多的设备或部件,提高空间利用率。

应用场景

光学实验与研究:在需要在真空环境中进行的光学实验中,如高分辨率光谱分析、激光物理实验等,用于固定光学元件、反射镜、透镜等的支架,确保光路的稳定和精确。

真空镀膜设备:在真空镀膜过程中,作为蒸发源、溅射靶材等的支撑底座,保证镀膜材料在真空环境下能够均匀地沉积在基底上,提高镀膜质量。

半导体制造:在半导体芯片制造的光刻、蚀刻等工艺中,为光刻机的镜头、掩膜版等部件提供稳定的支撑和精确定位,确保芯片制造的精度和质量。

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