由于KrF光刻胶产能受限以及全球晶圆厂积极扩产等原因，日本信越化学已经向中国大陆多家一线晶圆厂限制供货KrF光刻胶，甚至已通知部分中小晶圆厂停止供货KrF光刻胶，国内多家晶圆厂将会面临KrF光刻胶大缺货的处境。

多家晶圆厂KrF光刻胶供应紧张

半导体光刻胶是光刻过程的关键耗材，光刻胶的质量和性能对光刻工艺有着重要影响，因其技术壁垒高而长期被海外大厂所主导，是半导体国产化的一道大坎。目前全球光刻胶主要企业有日本合成橡胶（JSR）、东京应化（TOK）、住友化学、信越化学、陶氏化学等，占市场份额超过85%。

早在今年2月中旬，日本福岛发生7.3级地震发生后，信越化学KrF光刻胶生产以及海外供货就受阻，当时下游代理商考虑配合运输与相关成本提高，调涨新合约报价。

据行业人士透露，由于地震原因，信越化学KrF光刻胶产线受到很大程度的破坏，至今尚未完全恢复生产，在产线受到影响和晶圆厂扩产等多方因素下，信越化学不得不停止向中国大陆几家晶圆厂供应KrF光刻胶。虽然东京应化（TOK）填补了信越化学海外大部分缺失的KrF光刻胶产能，但目前仍存在不小的缺口。

据悉，全球半导体光刻胶被日本合成橡胶（JSR）、TOK、住友化学、信越化学，以及美国陶氏化学所主导。JSR是现在全球大的，技术是领先的光刻胶龙头，Intel、三星和台积电都是JSR核心客户，I-line、KrF、ArF、EUV光刻胶产品全覆盖。TOK专注于做光刻胶及配套试剂，在G线、I线，KrF和ArF都有些市场份额。陶氏的光刻胶事业部已经并入杜邦，客户是Intel、IBM体系，但在大陆市场占有率不是很高。信越化学主要切入点就是从KrF和ArF开始，EUV光刻胶也在开发，在中国大陆有不少FAB厂客户。

今年以来，除了台积电、三星、英特尔、联电等晶圆厂积极扩产外，中芯国际、华虹宏力、广州粤芯等多家本土晶圆厂积极扩产和产能释放，这也就导致国内光刻胶需求量远大于本土产量，且差额逐年扩大，尤其是在高端KrF、ArF等半导体光刻胶。

然而，截至目前，国内能够批量供应KrF、ArF光刻胶的厂商却为数不多。根据SEMI数据，日本几大厂商在g线/i线、KrF、ArF胶市场中市占率分别为61%、80%、93%，而国内g线/i线自给率约为20%，KrF光刻胶的自给率不足5%，12寸硅片的ArF光刻胶目前尚无国内企业可以大规模生产。

文章来源：芯头条