世界上能够生产EUV光刻机的企业，只有荷兰的阿斯麦ASML，而世界上能够生产光刻机的企业却并非只有阿斯麦，日本的尼康、佳能，我们的上海微电子，都可以生产光刻机，而现在，能够生产EUV的企业可能要发生变化了，因为现在有企业准备组团攻克EUV光刻机技术了！

日本光刻机

原本的光刻机市场是日本尼康、佳能的天下，但是ASML在2007年实现对这两家日本企业超越之后，日本就失去了在光刻机领域的领先地位。

现在，要想实现EUV光刻机的突破，日本企业也并非不可能，首先在光源方面，日本有着属于自己的优势，日本光源公司Gigaphoton和曾经的Cymer公司（ 现在已经被ASML收购）为全球前两大曝光机用光源制造商，据悉，现在Gigaphoton正在开发EUV光刻光源。

而东芝集团旗下的NuFlare Technology、日本电等企业也正在电子束掩膜光刻设备领域开展合作，研制可以发射26万束激光的设备。

据悉，全球第三大半导体设备制造商东京电子已经计划投入近80亿元用于EUV设备的研发，而为了进一步加强其自身在EUV设备领域领先地位，东京电子也计划进行超过800亿元的投入。

曾经光刻机的发展，日本企业属于主力，即便是现在被阿斯麦压得喘不过来气，但是，日本企业依旧没有放弃在EUV光刻机领域进取的野心，主要原因还是在于光刻机对于半导体产业发展太重要了，而且利润丰厚，早已经在该领域尝了甜头的日本，自然不甘心长期落后于阿斯麦，所以多家企业目标直指EUV光刻机也不足为奇！

对于我们来说，发展高端光刻机，尤其是EUV光刻机，也是非常有必要的，其中一个方面，大家现在都知道了，高端光刻机已经成为了阻碍国产芯片制造业的主要障碍，除此之外，还有非常重要的一个原因：EUV光刻技术所带来的巨大的芯片制造设备产业价值。

据悉，有调研机构通过统计发现，EUV技术每年能够为芯片制造设备市场带来将近4000亿元的价值。加上本身所代工的产业链的发展，价值还要高于这个数据。

既是当务之急，也是市场所需，发展国产EUV光刻机，时不我待！

文章来源：网易