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压电陶瓷驱动滑台选择表
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压电陶瓷驱动滑台选择表
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CAD
价格
NPS-103
125mm*125mm
±15mm
1nm
-
0.8mm/sec
NPS-103C
5nm
±0.00002mm
NPS-301-MS
28mm*455mm
±1.5mm
10nm
-
0.5mm/sec
NPS-301-MSC
50nm
±0.0002mm
NPD-301-MS
10nm
-
NPD-301-MSC
50nm
±0.0002mm
NPS-347-S1
30mm*50mm
粗调:±2.5mm精调:0.01mm
10nm
±0.0001mm
-
NPD-347-S1
-
NPS-647-C1
60mm*60mm
粗调:±2.5mm精调:0.01mm
10nm
±0.0001mm
-
NPS-947-C1
90mm*90mm
粗调:±2.5mm精调:0.01mm
10nm
±0.0001mm
-
NPS-641-C1
粗调:60mm*60mm精调:38mm*40mm
粗调:±5mm精调:0.01mm
10nm
±0.00002mm
-
NPD-641-C1
-
NPS-941-C1
粗调:90mm*90mm精调:60mm*60mm
粗调:±7.5mm精调:0.01mm
10nm
±0.00002mm
-
NPA-10C
-
0.01mm
10nm
±0.00005mm
-
NPA-10S
-
-
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