NPS-947-C1
 分辨率10nm，粗调、微调同轴驱动
结合粗调大行程，微调高分辨率的特点
高的重复定位精度 |
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NPS-947-C1规格（NPS-947-C1 Specification）
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移动方向 |
X轴一个方向 |
行程 |
粗调：±2.5mm
精调：0.01mm |
台面大小 |
90
mm×90
mm |
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驱动方式 |
粗调：千分头
精调：压电陶瓷驱动 |
材料 |
铝合金 |
负载 |
9.8N
(1kgf) |
导轨 |
V型槽+交叉滚珠 |
分辨率 |
10 nm |
直线度 |
0.003mm（水平，垂直）
10sec（俯仰，摇摆） |
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定位精度 |
0.0002mm |
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重复定位精度 |
±0.0001mm |
质量 |
0.5Kg |
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