桌面防震平台
高重心桌面防震平台
精密型防震平台
经济型防震平台
大负载型防震平台
主动型防震平台
主动桌面防震平台
实验室型防震平台
振动测试系统
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主动型防震平台(MAPS系列)
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这一系列的产品都有两个空气压缩振荡器;水平方向和垂直方向。使用MAPS系列产品,可以体会到卓越的除震(主动抑制振动)和保持精密位置的性能。
主要特征:
隔振频率范围是被动系统无法实现的;
大负载,可以为一个10 吨以上的设备提供防震;
精确的位置重复性能;
容易安装;
高性能,但价位较高;
主要应用:
纳米科技领域
例如:MEMS应用,原子力显微镜,原子成像设备等
半导体、液晶制造或检测领域
例如:半导体传送设备,半导体加工设备,液晶检测仪器等
航空、航天、航海等特殊领域
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| MAPS系列规格(MAPS Series specificaiton) |
参数 |
MAPS-008 |
MAPS-016 |
MAPS-033 |
MAPS-065 |
MAPS-130 |
MAPS-240 |
固有频率 |
200Hz以下 |
隔振方式 |
空气弹簧 |
阻尼方式 |
可调阻尼孔 |
桌面水平方式 |
自动保持桌面水平,重复位置精度±50um |
负载(Kg) |
400-800 |
800-1600 |
1600-3400 |
3400-6600 |
6600-13300 |
13300-24500 |
尺寸(mm) |
235*235*130 |
296*296*140 |
350*350*150 |
450*450*190 |
600*480*190 |
700*600*267 |
螺孔间距(mm) |
218*218 |
276*276 |
320*320 |
420*420 |
470*430 |
560*560 |
螺孔直径(mm) |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
重量(Kg) |
13 |
42 |
63 |
110 |
180 |
230 |
供给气压
| 0.40-0.70MPa |
平均消耗
| 45-65(L/Min) |
120-170(L/Min) |
最大消耗
| 120(L/Min) |
300(L/Min) |
电压
| 100-240V |
功率
| 400W |
450W |
温度
| 0-40℃ |
湿度
| 35%-85%RH |
隔振性能
| 参照transmissibility曲线 |
最大自由度
| 6 |
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