主要特征材料本身有的高硬度、耐磨性、耐酸性、耐热性、低热膨胀系数等特性，能适合在特殊环境下使用保证高精度、可靠性。 Al2O3的复合材料能在真空、非磁性条件下使用 导轨部件使用Si3N4材料制成，具有很好的平滑性能，可以省去使用润滑油，避免了污染真空环境，影响真空度 适用最高真空度10－5Pa的环境
应用 电子、半导体制造装置（EB装置等） 新一代半导体设备的研究开发 其他纳米科技研究
线性马达规格
材料本身有的高硬度、耐磨性、耐酸性、耐热性、低热膨胀系数等特性，能适合在特殊环境下使用保证高精度、可靠性。Al2O3的复合材料能在真空、非磁性条件下使用导轨部件使用Si3N4材料制成，具有很好的平滑性能，可以省去使用润滑油，避免了污染真空环境，影响真空度适用最高真空度10－5Pa的环境电子、半导体制造装置（EB装置等）新一代半导体设备的研究开发其他纳米科技研究
