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大负载防震平台(AP系列)


       这一系列防震平台有着独到的设计,紧凑的外形、很好的扩展性;是理想、大负载隔振的具体体现。

主要特征:

标准高度,185mm;
大负载能力,标准最大负载13 吨;
针对台面上移动的负载特殊设计;
能在洁净空间中使用;
多用途的系统;

主要应用:

半导体、液晶制造或检测领域
例如:半导体传送设备,半导体加工设备,液晶检测仪器等
大型专用设备领域
例如:大型扫描电子显微镜,透射电子显微镜,金属扎机,大型冲压设备等
航空、航天、航海等特殊领域
AP系列规格(AP Series specificaiton)
参数
AP-80
AP-100
AP-120
AP-140
AP-160
固有频率
2.5-3.0Hz
隔振方式
空气弹簧
阻尼方式
可调阻尼孔
桌面水平方式
自动保持桌面水平,重复位置精度±200um
负载(Kg)
560
880
1200
1700
2200
尺寸(mm)
170*170*185
180*180*185
200*200*185
210*210*185
240*240*185
螺孔间距(mm)
150*150
160*160
176*176
186*186
210*210
螺孔直径(mm)
10
10
10
10
13
重量(Kg)
18
20
25
29
30
供给气压
0.35-0.70MPa
参数
AP-180
AP-200
AP-230
AP-270
AP-330
AP-380
固有频率
2.5-3.0Hz
隔振方式
空气弹簧
阻尼方式
可调阻尼孔
桌面水平方式
自动保持桌面水平,重复位置精度±200um
负载(Kg)
2800
3600
4600
6400
9600
13000
尺寸(mm)
250*250*185
260*260*185
300*300*185
380*380*185
410*410*185
430*430*185
螺孔间距(mm)
230*230
230*230
270*270
290*290
340*340
400*400
螺孔直径(mm)
13
13
13
13
13
13
重量(Kg)
32.5
35
45
55
70
90
供给气压
0.35-0.70MPa
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